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真空腔体的维护保养是确保其正常运行和延长使用寿命的关键环节。在进行维护保养时，需要注意以下几个方面：
一、安全防范措施
关闭电源：在开始进行任何保养或维修前，应首先关闭设备电源开关，并断开总电源保护器，确保操作环境的安全。
关闭气体：同时关闭所有气体供应，避免在维护过程中发生意外。
准备工具：准备所需工具箱，包括无尘布（纸）、酒精等清洁用品，以及可能需要的专 业工具。
二、清洁维护
观察窗：观察窗用于观察腔体内放电情况，但使用腐蚀气体后可能会造成玻璃表面微蚀，变得模糊不清。此时，可用无尘布（纸）蘸取酒精或丙 酮进行清洁，恢复其清晰度。
防止进水：水是真空系统的天敌，尤其对于高真空腔体而言。在清洁和维护过程中，要特别注意防止水进入真空腔体和真空系统中。可以通过合理的密封和避免湿手操作来达到这一目的。
三、定期检查与更换
密封性能：定期检查真空腔体的密封性能，确认是否存在漏气现象。如有漏气，应及时检查并更换密封圈等密封元件。
操作机构：检查操作机构的灵活 性，确认是否存在卡阻现象。如有异常，应及时进行调整或更换相关部件。
真空泵油：真空泵内使用的防氧化专用油应及时更换，以保证真空泵的正常工作和延长使用寿命。建议每三个月更换一次，并经常观察油面计指示的油量是否充足，及时补充新油。
四、注意事项
避免碰撞：真空腔体通常由脆弱材料制成，如玻璃或不锈钢。在清洁和维护过程中要避免过度碰撞或冲击，以免造成破损或变形。
化学物品接触：如果在维护过程中可能使用到化学品或溶液，要特别注意避免其与真空腔体直接接触。必要时应使用防护措施，如佩戴手套和护目镜等。
存放方式：真空腔体在存放时应避免堆叠或挤压，以免造成损坏。应放置在干燥、通风、无尘的环境中，以保持其良好的工作状态。
综上所述，真空腔体的维护保养需要综合考虑安全、清洁、检查和更换等多个方面。只有做好这些工作，才能确保真空腔体的正常运行和延长其使用寿命。
