真空腔体浅谈真空挡板阀的工作原理是什么

真空腔体浅谈真空挡板阀的工作原理是什么

真空挡板阀的任务基本原理是阀板进行阀杆做前后运动不而实现密封的趋使阀杆运动的传动部件有手动、手电两动、气动三种方式。手动传动部件，以热卷整体结构为主，也也可以采用传统平凸轮结构。图1和图2分别为1为直角式、通到式真空挡板阀整体结构挥手示意图。手动两用的传动部件，由电动机、蜗轮、蜗杆组成，并装有行程安排开关。

当接通电源后，电动机按某一方向(如开启方向)旋转的，进行蜗轮、蜗杆带动整体阀杆向上运动不使阀板上升，当阀上升到肯定高度时，行程安排开关系统自动截断电源，阀杆运动不立刻完全停止，反之亦然。手动时，松手手轮背帽，用手按肯定方向上旋转手轮即可，图3为GDD型手、电两用真空挡板阀外形图。

气动传动部件以被压缩较干燥空气中为动力，进行电磁换向阀变化气路方向，助推汽缸活塞前后运动不，带动整体阀杆上下运动，使阀板开启关闭，从而达到接通或停止气流的目的

真空挡板阀有高真空挡板阀和超高真空挡板阀两种。高真空挡板阀用于高真空该系统接通或截止气流。适用于压力规模：轴封为橡胶时为1.310-4105Pa轴封为水波管结构时为1.310-5105Pa任务介质温度：-2580℃（密封件为丁腈橡胶）-30150℃(密封件为氟橡胶)阀体材料：碳钢镀镍或不锈钢；阀板密封其他材料丁腈橡胶或氟橡胶

超高真空挡板阀用于超高真空该系统接通或截止气流。适用于压力规模为1.310-3105Pa阀门重新开启处于，烘烤温度小于400℃；阀体其他材料为不锈钢；阀板材料为无氧铜；轴封处密封件其他材料为不锈钢水波管。这两种真空挡板阀使用的任务介质为洁净的空气中或对阀门无腐蚀的非常干净气体。不适同用在对金属有强被腐蚀性和含有颗粒处于尘土的气体状况下长期使用。

高真空挡板阀因为具有独特密封可信、流导大、安全的性好和可手控、电控、气控等特点，方式多样，规格齐备，公称尺寸DN1501200整体结构合理地等，因而，被广泛地用于大、中型多种高真空装置的真空该系统当中，如用于真空镀膜设备及，真空热处理炉、真空钎焊、高真空电子束焊机、离子束刻蚀设备、空间环模设备等。

实验室真空系统