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真空该系统实际上就是真空机组的一个类似的称谓，真空机组是由几种真空泵组合而成的一套闭环真空设备，不见得有一些诸如散热器，冷凝器等等设备及存在而通常能称为真空该系统当然是各种各样零部件齐备。真空应用于设备及种类繁多种类繁多，但不论何种真空应用于设备及都有一套9和0被抽容器内气体的抽气系统，以便在真空容器内获所需要的真空基本条件。举例而言：一个真空处理方式用的容器，用管道和阀门将它与真空泵连接起来，那真空泵对容器通过抽时间时，容器上要有真空测量设备，这就构成了一个最简单的真空抽气系统。那么说真空该系统相比较较于机组而言有多少人泵组成呢?这个是不确定的先来认识了一下可能存在泵的名词作出解释。
主泵：真空该系统中，用于获所需要真空度来能满足特定工艺其要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
前级泵：用于继续维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片泵或滑阀泵就是前级泵。
粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将该系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
继续维持泵：真空该系统中，气量不足很小时，不能够能有效天时地利用前级泵。为此基础配置一种容量较小的其他辅助泵来继续维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩撒泵进出口处配一台小型旋片泵，就是继续维持泵。
客观事实上简单的真空该系统只是能获一个粗真空，而想要获高真空时，一般在真空该系统中串连一个高真空泵，例如罗茨泵和螺杆泵等都是获高真空的泵。当串连一个高真空泵之后，一般要在高真空泵的入口处和进出口分别为1加上阀门，以便高真空泵能单独的能保持真空。假如所串联的高真空泵是一个油扩散泵，为了防止出现大量地的油蒸气返流进入被抽容器，一般在油扩散泵入口处加一个捕集器—水冷障板。跟据其要求，还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口处放气阀，散热器等等，这样的就构成了一个较完善的高真空系统。
