不同的真空泵在实验室真空系统中所起的作用
因为各种各样真空泵的其性能除均能能满足对容器通过抽真空的共同合作点之外,尚具有独特相同之处。因而在选用时要明确的泵在真空该系统中所承担的任务任务后是非常重要的的泵在各种各样相同任务市场领域中所起的起到总结归纳起来主要原因有如下几个方面。
1该系统中做主泵
所谓主泵就是对真空该系统被抽容器直接把通过抽真空,以获能满足工艺其要求所需真空度的真空泵。
2粗抽泵
粗抽泵是指从大气压就大大降低真空该系统压强达到另一抽气该系统也可以就任务的真空泵。
3前级泵
前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其高许可的前级压强以下的真空泵。
4继续维持泵
继续维持泵是指那真空该系统抽气很小时,不能够能有效的借助主要原因前级泵。为此,真空该系统中另配一种抽气速度较小的其他辅助前级泵来维持主泵的正常地任务或继续维持已抽空的容器所需的高低压的真空泵。
5粗真空泵或低真空泵
粗、低真空泵是指从大气开始,大大降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。
6高真空泵
高真空泵是指在高真空规模任务的真空泵。
7超高真空泵
超高真空泵是指在超高真空规模任务的真空泵。
8增压泵
增压泵一般指工作在低真空泵和高真空泵之间,用以提升抽气系统在中间位置压强范围的抽气量不足或大大降低前级泵抽气速率要求的真空泵。真空探针台