真空阀是指在真空系统中用来改变气流方向、调节气流大小以及切断或接通管道的真空系统部件。真空阀关闭部分由橡胶密封圈或金属密封圈密封。
真空阀是设备中广泛使用的一种阀门。它由手柄和手轮操作。一般情况下,手柄和手轮的顺时针钍旋规律为关闭方向,逆时针钍旋规律为开启方向。但有些真空阀的开闭方向与上述相反,操作前要注意检查开闭标志。
闸阀、截止阀等真空阀,在关闭或开启到末端(即下止点或上止点)时,应反转1/4~1/2圈,使螺纹密封更好,以便操作时检查,防止阀门过紧损坏。一些直径较大的蝶阀、闸阀和截止阀都装有旁通阀。旁通阀的作用是平衡进出口压差,减小开启力矩。开启时,先开旁通阀,再开大阀。在真空阀开启蒸汽阀之前,需要对管道进行预热,排出冷凝水。慢慢开启,防止水锤损坏阀门和设备。
对于已校准的闸阀和节流阀,检查并调整全开或全闭的指示位置。明杆闸阀和截止阀也应该在全开和全闭位置使用。当阀门在真空中完全关闭时,可以借助刻度和标记发现密封件掉落或抵住异物,以便排除故障。