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浅谈真空系统的运行
真空系统是如何运行的：
在系统启动后，主泵机组将会起动，直至真空槽中的真空度达到规定的上限，真空泵就会自动停机，并通过管线上的真空单向阀来保持真空。当工作需要时，真空箱中的真空度降低到规定的下限以下时，真空泵系统将会自动起动。循环进行以上操作，可使真空系统保持一个稳定的真空来源，从而达到生产的需要。
真空系统采用抽速控制，进气过滤，主要运行数据显示，运行保护和遥控控制。只要在现场进行简单的电源和管线的连接，就能形成一套完整的真空系统。本系统采用 PLC控制系统，通过计算机程序设计，采用触摸屏作为人机接口，对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定、执行、报警、保护系统等进行自动控制。它在电子工业，半导体，空间模拟，科研，实验室，机械加工等领域。
